La ĉefaj trajtoj de ARC-500 estas rapidaj ciklotempoj, facila funkciado kaj uzantfacileco je favora prezo.Ĝi havas kvar altkvalitajn katodiajn arkvaporajn katodojn.Ĝi estas la ideala elekto por klientoj, kiuj volas eniri la tegmondon aŭ volas aldoni rapidan malaltvoluman PVD-sistemon al sia aro de maŝinoj.
Teknologioj Aplikataj:
Katodaj arkaj vaporiĝaj katodoj
Avantaĝoj:
Alta celo utiligo
Alta depona indico
Rapida katoda interŝanĝo
• Ĝenerale strukturo: Vertikala antaŭa pordo, horizontala antaŭa pordo, malantaŭa vakua pumpada sistemo
• Materialoj: La kavo estas farita el altkvalita SUS304 neoksidebla ŝtalo
• Jona arka fonto: Ekipita per multoblaj aroj de arka nutrado laŭ la grandeco de la ekipaĵo
• Bias nutrado: Ekipita per alt-potenca unu-etapa pulso bias nutrado
• Multarkaj celoj: Multoblaj aroj de titanio aŭ neoksidebla ŝtalo celoj kiel normo
• Rotacia sistemo: Reguligo de rapido de ŝanĝiĝema ofteco, kombinaĵo de revolucio kaj rotacio, supra transdono aŭ malsupera transdono.
• Malplena sistemo (Dekoracia tega ekipaĵo): Disvastigopumpilo (laŭvola molekula pumpilo) + Radika pumpilo + mekanika pumpilo
• Gasa kontrolo: Plurdirekta gasa masflua kontrolo-sistemo
• Hejtado sistemo: ornama tegaĵo 150 ℃ temperaturo kontrolo PID alĝustigebla kaj kontrolebla
• Inteligenta kontrolo: PLC-inteligenta kontrolo + HMI-plenkolora tuŝinterfaco, por atingi plene aŭtomatan logikan kontrolon
• Alarmo kaj protekto: Alarmo sub eksternormaj kondiĉoj kaj efektivigi respondajn protektajn mezurojn.
Maks.ŝarĝo: 100 kg
4 - 6 aroj/tage
MODULAJ KARUSELO-SISTEMOJ:
Du-rotacia piedbatkaruselo aŭ trirotacia sistemo de rapidumujo
PROGRAMARO:
Simpla uzo kaj bontenado
Kontrolsistemo kun tuŝekrano
Registrado de datumoj kaj montrado en reala tempo de procezaj parametroj kaj fluo
Mana kaj aŭtomata proceza kontrolo
DIMENSIOJ DE MAŜINO:
Piedsigno [mm]: L2300 x W1600 x H1950