Aluminia Spegulo Enlinia Magnetron Sputtering Line
Mallonga priskribo:
Aluminia Spegulo Enlinia Magnetron Sputtering Line estas desegnita por alta produktado de vitro-spegula fabrikado.Por kovri pli grandan vitron kaj zorgi pri delikata vitra panelo, precipe por la grandgrandaj folioj, ni kutime faras horizontalan tipon de ŝpruclinio.Ĝi estas kontinua magnetrona tega linio, kun la antaŭa kaj malantaŭa malglata pumpkamero, kaj post la transira ĉambro, antaŭ kaj post la fajna pumpadĉambro, bufroĉambro, kolora tega ĉambro.
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line estas kutime venas kun multoblaj vakuaj ĉambroj por kompletigi de la vakua tegaĵo sur vitraj folioj.
Ĉefaj trajtoj:
1.Max.glass tegaĵo grandeco: 2440x3660mm aŭ personecigita
2. Plur-vakuaj ĉambroj kaj mult-sputtering-ĉambra dezajno haveblas
3. La horizontala magneta kontrolo-linio havas unu-finan kaj duoblan strukturon;vitro duobla purigado, tegaĵo, detekto, pentrado, sekigado, malvarmigo povas esti finita ĉiuj samtempe
4. La ŝpruca teglinio uzas PLC por tuta procezo-kontrolo kaj estas ekipita per kolora ekrano por montri la tegprocezajn datumojn.
Tavolo de tegaĵoj: Titanio, Kromo, Neoksidebla ŝtalo, Aluminio, Arĝento, Kupro, ktp.
Kunmetaĵo: TiN, TiO2, ktp.
Tavola dikeco: 5-100nm
Transdono: 8-40% ĉe 380-780 nm ondolongoj
Demettemperaturo: ĉambra temperaturo
Finfina premo post 8-hora pumpado:
Enira serurkamero & vakua serurkamero: 5 × 10-1 Pa aŭ malsupre
Buffer Ĉambro 1 : 3×10-3 Pa aŭ malsupre
Sputtering Chamber: 2×10-3 Pa aŭ malsupre
Buffer Ĉambro 2 : 3×10-3 Pa aŭ malsupre
Eliru serurkamero & vakua serurkamero: 5 × 10-1 Pa aŭ malsupre