Enlinia Magnetron Sputtering-sistemo

Mallonga priskribo:

Enlinia Magnetron Sputtering-sistemo estas speco de vakua maldika filmo-demeta ekipaĵo, kiu funkcias por malsamaj celoj.La plej oftaj aplikoj de nia ŝpruciga linio inkluzive de:

Fabrikado de spegulo de aluminio

ITO-vitra tegaĵo
Kontraŭreflekta vitro
Ornamaj tegaĵoj por neoksidebla ŝtalo kaj vitro

Ĉi tiu tega sistemo taŭgas por altklasaj vakuaj tegaĵoj.Ĝi produktas stabilan laborefikecon por plibonigi la kvaliton de vakuaj tegaj filmoj.

Sendu retpoŝton al ni

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

Inline magnetron sputtering tegmaŝino estas ĉefe DC (aŭ MF) magnetron sputtering tegaĵo povas esti adaptita al larĝa gamo de celoj, kiel ekzemple: kupro, titanio, kromo, neoksidebla ŝtalo, nikelo kaj aliaj metalaj materialoj kiuj povas esti kovritaj uzante sputtering procezo. povas plibonigi filmon adheron, reprodukteblecon, densecon, unuformecon kaj aliajn karakterizaĵojn.

a.La bazaj karakterizaĵoj kaj parametroj
b.horizontala linio strukturo povas esti realigita samtempe kovrita sur unu flanko
c.produktada efikeco, la plej rapidaj rapidoj de ĝis 1 min / takto
d.modula dezajno, facila bontenado
e.tegaĵo procezo matureco, alta rendimento
f.DC-magnetronaj ŝprucantaj katodoj povas varii depende de klientpostuloj
g.vakuosistemo konsistas el mekanika pumpilo, Radikaj pumpiloj, disvastigpumpiloj (molekula pumpilo) Komponado
h.Linia korpograndeco povas varii depende de klientpostuloj

1) La vakua ĉambro korpo materialoj uzis SUS304, poluranta vakuo ĉambro muro traktado, la ekstera muro spray polurado bidoj prilaborado.
2) Uzante sendependan pordegan valvon inter la malplena ĉambro - flapper valvo aparte, povas efike fortranĉi, stabiligi la procezan gason.Nuntempe nia kompanio adoptas la klapan valvan dezajnon, ĝi sigelas pli bone, pli daŭran ol la nuna hejma komuna klapa valvo.
3) Transdono uzas magnetan gvidilon, protektas la stabilecon de la stirado.Por ĉiu rapido de la tuta produktadlinio uzante VVVF-motoran stiradon, kura rapideco povas esti ĝustigita.
4) Elektra Kontrola Sistemo: Tuŝekrano kaj aŭtomata kontrolo de PLC, dialogo homo-maŝina por atingi la sistemon de montrado de datumoj, operaciaj parametroj kaj kontrolteknologio.
1) Finfina malplena premo: 6 × 1 0E-4 Pa
2) la averaĝa produktada ciklo: laŭ la produkto determinita
3) La substrata posedanto Grandeco: povas esti personecigita laŭ la postuloj de
4) Filma unuformeco: ± 3% altnivela movebla kampo-teknologio multe plibonigis cel-utiligon
Segmenta hejtila dezajno estas favora al proceza optimumigo.