-Unu/Du Pordoj
Kadro kaj ĉambro estas faritaj el karbona neoksidebla ŝtalo.
Ĉiu pordo disponigas inspektan fenestron por la vida kontrolo de la procezo.La pordaj muroj disponigas rustorezistan ŝtalan tegaĵon, kiu estas facile forigebla por prizorgado.
-Personigita Malplena Ĉambro
La ĉambro disponigas internajn neoksideblajn ŝtalojn tegaĵojn facile forigeblajn por purigado.
La pumpiloj staras sur ĝia malantaŭa parto.
La kamero havas serion de malgranda flanĝo por la celo de mezurado.
-Alta vakua pumpada sistemo
Disvastigopumpilo+Boosterpumpilo+Mekanika pumpilo
-Vkua mezurado kaj kontrolo
Kun metala Pirani mezurilo+metala joniga mezurilo
-Aparatoj movanta sistemon
-PLC Kontrola unuo
-Aluminia vaporiĝa sistemo kun alta potenco transformilo
-Fera kadro
La strukturo estas racia
La filmtavolo estas unuforma
Filmforma kvalito
Alta pumpa rapido, mallonga laborciklo kaj alta produktada efikeco
Operacio estas oportuna
Malalta energikonsumo kaj stabila agado
Modela Nombro | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Du pordoj aŭ Du ĉambroj modelo estas haveblaj | |
Dimensio de malplena ĉambro (diametro * alteco) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materialo de malplena ĉambro | Karbonŝtalo, SUS304 aŭ SUS316L | ||||||
Teknologio de laboro | vakurezista vaporiĝo kun tungsteno kaj aluminiaj filamentoj, alta potenco vaporiĝa transformilo | ||||||
Pumpa sistemo | Disvastigo pumpilo + mekanikaj pumpiloj, akcelpumpilo | ||||||
Pumpa Tempo | De atmosfero al 5.0*10-2Pa malpli ol 8 minutoj | ||||||
Malplena Limo | 5.0*10-4 Pa | ||||||
Labora temperaturo | Ĉambra temperaturo | ||||||
Laborreĝimo | Aŭtomata aŭ Mana reĝimo, je 10,4 coloj PLC tuŝas ekranon | ||||||
Tuta Potenco | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Piedspuro | 2*2 metroj | 2*3 metroj | 3*3 metroj | 3*3 metroj | 3*4 metroj | 4*5 metroj | 5*6 metroj |
Ĉi tiujn unuojn vi povas persone fari | 1. Grandeco de malplena ĉambro 2. Agordoj de pumpiloj | ||||||
Laŭvolaj instrumentoj | 1. Elflua detektilo 3. Arko-jona deponsistemo 4. Magntron-ŝprucsistemo |